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      過程控制在線質譜分析儀 Aston?

      產品價格 面議

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      3 天內發貨
      品牌:
      德國 Pfeiffer
      所在地區:
      上海
      有效期至:
      長期有效
      最后更新:
      2022-07-01 11:00
      瀏覽次數:
      173

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      所在地區:全國

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      伯東企業(上海)有限公司

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      產品詳情

      價格貨期電議

      上海伯東代理日本 Atonarp 過程控制質譜儀 Aston?, 通過使用分子傳感技術, 提供半導體制程中  ALD, CVD, 蝕刻, ALE 和腔室在大批量生產中的氣體偵測分析, 實現尾氣在線監控, 診斷, 為半導體過程控制提供解決方案, 提高半導體制造工藝的產量, 吞吐量和效率, 在現有生產工藝工具上加裝 Aston, 可在短時間內實現晶圓更高產量!

      Aston? 特性
      實時過程控制的通用工具, 耐腐蝕性氣體, 抗冷凝
      半導體制造的分子分析原位平臺, 提供實時, 可操作的數據
      采用等離子體電離源, 無燈絲, 更耐用
      可與大批量生產工具完全集成
      Aston? 作為一個強大的平臺, 可以取代多種傳統工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 電介質和導電蝕刻及沉積, 腔室清潔, 腔室匹配和消解.

      Atonarp  Aston? 技術參數

      類型

      Impact-300

      Impact-300DP

      Plasma-200

      Plasma-200DP

      Plasma-300

      Plasma-300DP

      型號

      AST3007

      AST3006

      AST3005

      AST3004

      AST3003

      AST3002

      質量分離

      四級桿

      真空系統

      分子泵

      分子泵
      隔膜泵

      分子泵

      分子泵
      隔膜泵

      分子泵

      分子泵
      隔膜泵

      檢測器

      FC /SEM

      質量范圍

      2-285

      2-220

      2-285

      分辨率

      0.8±0.2

      檢測限

      0.1 PPM

      工作溫度

      15-35“℃

      功率

      350 W

      重量

      15 kg

      尺寸

      299 x 218 x 331 LxWxH(mm)

      400 x 240 x 325 LxWxH(mm)


      Atonarp  Aston? 應用: 半導體工藝過程控制和優化的重大發展, 提高半導體制造工藝的產量, 吞吐量和效率
      Aston? 是一款全新設計堅固耐用的緊湊型在線質譜儀, 適用于半導體制造和工業過程控制應用中氣體監測和控制, 高定量精度和實時性與生產穩健性和可靠性相結合, 例如半導體 dry pump 尾氣偵測分析, 實現在線監控,診斷.
      CVD / ALD: 氧化物-氮化物過渡及成分分析
      Etch/ALE End Point :<0.3%
      Chamber Matching:識別跟蹤分子
      Aston? 半導體在線質譜儀應用

      若您需要進一步的了解 Atonarp  Aston? 在線質譜儀詳細信息或討論, 請聯絡上海伯東葉女士



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